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8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)

簡要描述:Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途,友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效,具有單腔和多腔兩種機(jī)型,可滿足不同客戶需求。

  • 產(chǎn)品型號:Esther/Eris 系列
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 350

詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品概述

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途,友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效,具有單腔和多腔兩種機(jī)型,可滿足不同客戶需求。

2. 設(shè)備用途/原理

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途。友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效,具有單腔和多腔兩種機(jī)型,可滿足不同客戶需求。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 6、8 英寸,適用材料 ,適用工藝 常壓:N&P 常壓硅外延減壓:埋層外延、選擇性外延、多晶外延,適用域 科研、集成電路

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