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原子層沉積ALD

簡(jiǎn)要描述:用于高級(jí)研究的先進(jìn)能力
Veeco 是原子層沉積 (ALD) 系統(tǒng)供應(yīng)商,為研究和工業(yè)提供全面的服務(wù)和多功能的交鑰匙系統(tǒng),這些系統(tǒng)易于訪問、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠且精確到原子尺度。薄膜沉積是我們的專長(zhǎng)。我們的 Savannah® 系列薄膜沉積工具就是這些能力的例證。

  • 產(chǎn)品型號(hào):Savannah
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-04
  • 訪  問  量: 219

詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品概述

Savannah®配備了高速氣動(dòng)脈沖閥,以實(shí)現(xiàn)我們的曝光模式™,用于在超高寬寬比基板上沉積薄膜。這種經(jīng)過驗(yàn)證的精密薄膜鍍膜方法可用于在縱橫比大于 2000:1 >基板上沉積保形、均勻的薄膜。Savannah® 提供三種配置:S100、S200 和 S300。Savannah® 能夠容納不同尺寸的基材(S300 可達(dá) 300 毫米)。Savannah®薄膜沉積系統(tǒng)配備了加熱的驅(qū)體線,并可選擇添加多達(dá)六條線。Savannah® 能夠處理氣體、液體或固體體。

Veeco 原子層沉積 (ALD) 系統(tǒng)供應(yīng)商,為研究和工業(yè)提供全面的服務(wù)和多功能的交鑰匙系統(tǒng),這些系統(tǒng)易于訪問、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠且精確到原子尺度。薄膜沉積是我們的長(zhǎng)。我們的 Savannah® 系列薄膜沉積工具就是這些能力的例證。Savannah® 已成為全球從事原子層沉積 (ALD) 的大學(xué)研究人員的選系統(tǒng),他們正在尋找經(jīng)濟(jì)實(shí)惠且強(qiáng)大的平臺(tái)。在過去十年中,我們已經(jīng)交付了數(shù)百個(gè)這樣的系統(tǒng)。Savannah®對(duì)驅(qū)體的高效利用和節(jié)能特性大大降低了薄膜沉積系統(tǒng)的運(yùn)行成本。

2. 主要功能包括

原位橢圓偏振儀

原位質(zhì)量控制

自組裝單層膜

2循環(huán)時(shí)間

綜合臭氧

低蒸氣壓沉積

批處理

手套箱集成

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