當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 1 光刻設(shè)備
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles這款紫外臭氧清洗機,集成嵌入式控制系統(tǒng),人性化設(shè)計,便捷高效,質(zhì)量有保障,專業(yè)服務(wù),是科研與實驗的理想伙伴。
LEBO science的PT500真空等離子清洗機,作為Plasma Treatment Equipment,具備以下顯著特點: 設(shè)備小巧,操作便捷:采用一鍵式操控設(shè)計,便于在科研院所等實驗環(huán)境中靈活使用。 環(huán)保無污染:使用過程中無環(huán)境污染,無需化學(xué)品消耗,且機臺本身不產(chǎn)生任何污染物。 高效清洗能力:能夠迅速達成所需的表面親水性,提升處理效率。 廣泛適用性與無損處理:應(yīng)用廣泛,對處理產(chǎn)品無損傷
SUSS MicroTec為熱門化合物半導(dǎo)體工藝專門設(shè)計了一款新型光刻平臺:MA100/150e Gen2掩模對準光刻機。化合物半導(dǎo)體工藝,是指諸如高亮發(fā)光二極管(HB-LEDs)、功率器件、RF-MEMS等方面的半導(dǎo)體應(yīng)用。MA100/150e Gen2具備高精度對準功能,上至0.7µm的光刻分辨率,擁有為易碎、翹曲或透明晶圓片定制的傳載系統(tǒng)等強大功能和配置。
MA200 3代掩模對準光刻機專為大批量生產(chǎn)而設(shè)計,適用于200毫米以下晶圓和方形襯底的自動化加工。本系統(tǒng)集全場光刻技術(shù)與多種創(chuàng)新功能于一身。使其成為眾多應(yīng)用的優(yōu)秀系統(tǒng),例如生產(chǎn)厚膠工藝MEMS、有凹凸圖形的 3D 結(jié)構(gòu)以及先進封裝應(yīng)用,如3D封裝、扇出封裝、凸點封裝及化合物半導(dǎo)體和圖像傳感器。
ELS-HAYATE是由ELIONIX研發(fā)的超高吞吐量電子束光刻機,提供業(yè)界大的 5 毫米偏轉(zhuǎn)。非常適合需要關(guān)注字段間拼接錯誤的應(yīng)用。
ELS-BODEN是由ELIONIX開發(fā)的電子束光刻機,非常適合研究和開發(fā)!支持從高清繪圖到大電流高速繪圖的廣泛應(yīng)用。