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半導(dǎo)體研磨拋光機是半導(dǎo)體制造過程中至關(guān)重要的設(shè)備之一。主要用于對硅片、砷化鎵等半導(dǎo)體材料進行表面處理,以確保材料表面光滑、平整,達到高質(zhì)量的電氣性能和光學(xué)性能。在半導(dǎo)體制造中,晶圓(wafer)是基本的生產(chǎn)單元。晶圓在經(jīng)歷了多道工藝后,表面會產(chǎn)生一定的缺陷,如劃痕、顆粒及其它不規(guī)則性。這些缺陷會影響后續(xù)的光刻、沉積和刻蝕等工藝,進而影響芯片的性能。因此,研磨和拋光是半導(dǎo)體制造過程中重要的環(huán)節(jié)。研磨是利用粗粒度的研磨顆粒對晶圓表面進行加工,去除多余的材料。研磨過程一般包括兩個步...
半導(dǎo)體器件作為當(dāng)今信息技術(shù)領(lǐng)域的核心組成部分,其制造的關(guān)鍵在于對器件表面的加工處理。而半導(dǎo)體研磨拋光機作為半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備之一,在提供高精度加工和拋光服務(wù)方面發(fā)揮著重要作用。作為半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備,在提高生產(chǎn)效率、質(zhì)量和器件性能方面發(fā)揮著重要作用。其高精度、自動化、多功能性等特點使得其在半導(dǎo)體工業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用場景,為半導(dǎo)體器件的制造提供了重要的技術(shù)支持。半導(dǎo)體研磨拋光機的特點:1.高精度:具有非常高的加工精度,能夠?qū)崿F(xiàn)微米甚至亞微米級的加工要求。這種高精度的加工...
多路溫度記錄儀是一種用于同時監(jiān)測和記錄多個溫度信號的儀器設(shè)備。可以同時監(jiān)測多個溫度信號,并將這些數(shù)據(jù)記錄下來,以便用戶進行后續(xù)的分析和處理。在各種領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用,比如在工業(yè)生產(chǎn)中用于監(jiān)測設(shè)備運行溫度,醫(yī)療行業(yè)用于監(jiān)測患者體溫,環(huán)境監(jiān)測中用于記錄氣溫變化等。多路溫度記錄儀由多個溫度傳感器、數(shù)據(jù)采集模塊、存儲器和顯示屏等部分組成。其基本原理是通過多個溫度傳感器采集不同位置或不同設(shè)備的溫度數(shù)據(jù),并將這些數(shù)據(jù)傳輸?shù)綌?shù)據(jù)采集模塊中進行處理和記錄。數(shù)據(jù)采集模塊會將采集到的數(shù)據(jù)實時顯示...
化學(xué)機械拋光機CMP是一種用于半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝設(shè)備,主要用于在芯片制造過程中對晶圓表面進行高精度的拋光和平整處理。CMP技術(shù)通過結(jié)合化學(xué)溶液和機械磨削的方式,能夠去除晶圓表面的雜質(zhì)、凹凸和氧化層,使晶圓表面變得平整光滑,從而提高芯片的性能和可靠性?;瘜W(xué)機械拋光機CMP技術(shù)的原理是通過在旋轉(zhuǎn)的晶圓上施加一定壓力,使晶圓表面與攜帶磨料的拋光墊接觸,同時向晶圓表面噴灑化學(xué)溶液。在旋轉(zhuǎn)和壓力的作用下,磨料和化學(xué)溶液共同作用于晶圓表面,去除表面雜質(zhì)并實現(xiàn)表面平整化。通過控制拋光參...
激光直寫光刻機是一種先進的光刻技術(shù)設(shè)備,通過直接利用激光束在基片上精確地書寫和制造微觀圖案。該設(shè)備在半導(dǎo)體制造、微納米技術(shù)和光電子學(xué)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。激光直寫光刻機的基本原理:1.激光束發(fā)射:通過激光器產(chǎn)生高能量的激光束,這些激光束通常是紫外線或深紫外線波段,因為這些波段的光能夠提供更高的分辨率。2.光束調(diào)制:激光束經(jīng)過調(diào)制器后,可以根據(jù)預(yù)定的圖案進行調(diào)制,控制激光束的強度和位置。3.聚焦與移動:激光束通過光學(xué)系統(tǒng)(如透鏡和反射鏡)進行聚焦,并在基片上移動。運動系統(tǒng)可以控制...