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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  1 光刻設(shè)備  >  VPG 300 DI無(wú)掩模直接成像儀光刻機(jī)

無(wú)掩模直接成像儀光刻機(jī)

簡(jiǎn)要描述:PG 300 DI 是一款體積圖案發(fā)生器,專(zhuān)為在 i 線光刻膠中直接寫(xiě)入高分辨率微結(jié)構(gòu)而設(shè)計(jì)。它源自掩模制作工具,具有所有先進(jìn)的 VPG 系統(tǒng)組件,能夠以最高的精度和準(zhǔn)確度進(jìn)行書(shū)寫(xiě)。最大寫(xiě)入?yún)^(qū)域覆蓋 300 mm 晶圓。
VPG 300 DI 系統(tǒng)的目標(biāo)用途主要是學(xué)術(shù)和工業(yè)研究與開(kāi)發(fā),這些領(lǐng)域需要高靈活性和小于 2 μm 的特性。該系統(tǒng)可滿(mǎn)足各種應(yīng)用的需求,包括產(chǎn)品原型制作、MEMS、與其他工具的

  • 產(chǎn)品型號(hào):VPG 300 DI
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間:2024-09-05
  • 訪  問(wèn)  量: 263

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述:

PG 300 DI 是一款體積圖案發(fā)生器,為在 i 線光刻膠中直接寫(xiě)入高分辨率微結(jié)構(gòu)而設(shè)計(jì)。它源自掩模制作工具,具有所有先進(jìn)的 VPG 系統(tǒng)組件,能夠以高的精度和準(zhǔn)確度進(jìn)行書(shū)寫(xiě)。大寫(xiě)入?yún)^(qū)域覆蓋 。

寫(xiě)入模式

寫(xiě)作表現(xiàn)



小特征尺寸 [μm]

0.5

0.8

小行數(shù)和間距 [μm]

0.8

1.2

地址網(wǎng)格 [nm]

4

8

邊緣粗糙度 [3σ, nm]

30

40

CD均勻度 [3σnm]

50

60

2鼈層對(duì)齊(全局)[nm]

100

130

寫(xiě)入速度 [mm2/分鐘]

340*

1020*

*快速模式:680 2056 mm2/min,具有相似的性能,但沒(méi)有規(guī)格



100 x 100 mm 的曝光時(shí)間2面積 [min]

39

17

系統(tǒng)特點(diǎn)


光源

355 nm 的高功率 DPSS 激光器

大基板尺寸和寫(xiě)入面積

300 x 300 毫米2

基板厚度

0 12 mm (可根據(jù)要求提供其他厚度)

大曝光面積

300 x 300 毫米2

自動(dòng)對(duì)焦

實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)(光學(xué)和氣動(dòng))

自動(dòng)對(duì)焦補(bǔ)償范圍

高達(dá) 80 μm

流量箱

(閉環(huán))溫控環(huán)境試驗(yàn)箱

對(duì)準(zhǔn)和計(jì)量

用于測(cè)量和對(duì)準(zhǔn)的相機(jī)系統(tǒng)和軟件包

其他功能和選項(xiàng)

100、150、200 300 mm 晶圓的全自動(dòng)處理和預(yù)對(duì)準(zhǔn)。光學(xué)邊緣檢測(cè)、頂部對(duì)準(zhǔn)以及可選的紅外和背面對(duì)準(zhǔn)。Zerodur® 載物臺(tái)和高分辨率差分干涉儀

系統(tǒng)尺寸



系統(tǒng) / 電子機(jī)架

寬度 [mm]

2605 / 800

深度 [mm]

1652 / 650

高度 [mm]

2102 / 1800

重量 [kg]

3550 / 180

安裝要求


電氣

400 VAC ± 5 %, 50/60 Hz, 16 A, 3

壓縮空氣

6 - 10




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