自慰一区,国产精品XXX在线观看www,久久久久久亚洲精品,久久免费精品视频

歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網(wǎng)站！
咨詢熱線

當前位置：首頁  >  產品中心  >  半導體前道工藝設備  >  5 刻蝕設備  >  Tebaank® Pishow® P8英寸硅刻蝕設備

8英寸硅刻蝕設備

簡要描述：Tebaank® Pishow® P 硅刻蝕設備是面向8英寸集成電路制造的量產型設備
設備由電感耦合等離子體刻蝕腔（ICP etch chamber）以及傳輸模塊（transfer module）構成
適用于0.11微米及其它技術代的多晶硅柵（poly gate）、側墻（spacer）、淺溝槽隔離（STI）工藝

  • 產品型號：Tebaank® Pishow® P
  • 廠商性質：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-09-04
  • 訪  問  量： 319

詳細介紹

1. 產品概述：

Tebaank® Pishow® P 硅刻蝕設備是面向8英寸集成電路制造的量產型設備設備由電感耦合等離子體刻蝕腔（ICP etch chamber）以及傳輸模塊（transfer module）構成

適用于0.11微米及其它技術代的多晶硅柵（poly gate）、側墻（spacer）、淺溝槽隔離（STI）工藝

2. 工藝數(shù)據(jù)

3 μm Trench

0.4 μm Trench

0.25 μm Trench

2 μm Poly

0.18 μm Poly

3. 詳細介紹

Tebaank®  Pishow® P 硅刻蝕設備，為8英寸IC產線上柵工藝的多腔式量產型設備，擁有自主開發(fā)的優(yōu)化設計， 保證了優(yōu)異的刻蝕均勻性（片內<5%，片間<5%）和顆粒控制。提供AA、gate、STI、spacer、W recess等各項工藝的刻蝕解決方案。該設備高性價比的解決方案和優(yōu)秀的空間利用率，可為客戶產能升提供幫助。 



產品咨詢

留言框

  • 產品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7