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批量晶圓處理等離子系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，其模塊化控制系統(tǒng)使用最新一代處理器，基于 Linux 平臺作為操作系統(tǒng)，以及圖形用戶界面 (GUI)。因此，可支持手動和全自動控制過程，并且通過 MFC 控制過程氣體。在此過程中，所有參數(shù)都被寫入程序并存儲在數(shù)據(jù)庫中。與此同時，當(dāng)前的壓力值、氣體流量值、輸出值等都顯示在顯示屏上，如果當(dāng)前值偏離設(shè)定值，則會觸發(fā)相應(yīng)的警報。

去膠設(shè)備NA-1300系列 從關(guān)鍵的新世代晶圓制程到晶圓封裝，Luminous NA系列可對應(yīng)廣范圍的各類晶圓尺寸的各類工藝需求。