當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 其他前道工藝設(shè)備 > 10 其他 > SC24單晶爐
簡要描述:直拉法晶體生長系統(tǒng)SC 24單晶爐專為單晶硅晶體(硅錠)的工業(yè)生產(chǎn)而研發(fā)。該系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)理念可根據(jù)客戶的需求而進(jìn)行靈活的調(diào)整。低能耗優(yōu)化設(shè)計(jì)的24英寸熱系統(tǒng)(熱場)可以實(shí)現(xiàn)160公斤填料(無需加料器),生產(chǎn)直徑 230 毫米 (9英寸) 的晶體。根據(jù)直徑和裝載量的不同,該設(shè)備可拉制的晶體最大長度為 2.9 米。拉晶速度最大可達(dá)到10毫米/分鐘,晶轉(zhuǎn)和堝轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速高達(dá)35轉(zhuǎn)/分鐘。
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借助用于直徑測量的攝像系統(tǒng)和用于溫度測量的兩個(gè)高溫計(jì),通過 PLC(可編程邏輯控制器)和 PC 的控制實(shí)現(xiàn)自動拉晶工藝。用于工藝控制和監(jiān)控的圖文控制界面操作簡單友好,并針對大規(guī)模生產(chǎn)進(jìn)行了優(yōu)化。
產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽 :
最大晶棒直徑: 最長230 毫米
晶棒長度: 最長2,900 毫米
裝料容量: 160公斤-220公斤
熱場: 24英寸
該晶體生長系統(tǒng)作為半導(dǎo)體行業(yè)的重要組成部分具有以下特點(diǎn):
精確性:通過精密儀器制造的驅(qū)動單元夠?qū)崿F(xiàn)可重復(fù)的工藝控制并生產(chǎn)出最佳品質(zhì)的晶體。
堅(jiān)固性:爐體部件由高質(zhì)量的不銹鋼制成,其內(nèi)表面經(jīng)過高精度拋光,以便達(dá)到耐用性和潔凈等級方面的最高要求。
安全性:高度的自動化和額為增設(shè)的安全系統(tǒng)可以確保在先進(jìn)的生產(chǎn)環(huán)境中使用。
定制化:憑借多年的開發(fā)經(jīng)驗(yàn)、專業(yè)知識以及提供多種部件更換和組合方式,PVA晶體生長系統(tǒng)根據(jù)不同客戶的特定需求提供最佳解決方案。
支持與服務(wù):您可以通過直接聯(lián)系PVA晶體生長系統(tǒng)專家進(jìn)行“點(diǎn)對點(diǎn)"的溝通,獲得系統(tǒng)的備件服務(wù)以及系統(tǒng)的調(diào)整和優(yōu)化服務(wù)。
偶然將籽晶意外浸入熔融錫中,無意間發(fā)現(xiàn)了目前微電子領(lǐng)域中最重要的晶體生長工藝,該工藝是實(shí)現(xiàn)工業(yè)、科學(xué)和社會的快速數(shù)字化轉(zhuǎn)型的基礎(chǔ)。柴可拉斯基法(直拉法)以揚(yáng)·柴可拉斯基的名字來命名,該技術(shù)為工業(yè)化生產(chǎn)而開發(fā),目前用于生產(chǎn)直徑達(dá)300毫米、重量為500公斤的硅晶體。為此,當(dāng)溫度達(dá)到大約1410℃時(shí),高純硅作為半導(dǎo)體材料會在石英坩堝中熔化,并通過控制程序,按照工藝要求將單晶硅錠從熔體中拉出。
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