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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  其他前道工藝設(shè)備  >  10 其他  >  CGS Lab單晶爐

單晶爐

簡(jiǎn)要描述:CGS-Lab單晶爐是PVA產(chǎn)品線中最小的直拉法晶體生長(zhǎng)系統(tǒng),專(zhuān)門(mén)為研究所和實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)。10 英寸熱系統(tǒng)的設(shè)計(jì)用于最多 5 公斤的加料量和生長(zhǎng)直徑為 100 毫米、長(zhǎng)度為 300 毫米的硅錠。設(shè)備開(kāi)爐狀態(tài)時(shí)高度為3.4米,對(duì)安裝場(chǎng)地的高度要求相當(dāng)?shù)?。晶體提升速度和旋轉(zhuǎn)速度適用于生產(chǎn)特定尺寸的晶棒。

  • 產(chǎn)品型號(hào):CGS Lab
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間:2024-09-05
  • 訪  問(wèn)  量: 268

詳細(xì)介紹

借助用于直徑測(cè)量的相機(jī)系統(tǒng)和用于溫度測(cè)量的兩個(gè)高溫計(jì),通過(guò) PLC(可編程邏輯控制器)和 PC 的控制實(shí)現(xiàn)自動(dòng)拉晶工藝。提供適合工廠需求的真空泵和除塵器 (SiO) 系統(tǒng)。

產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:

最大晶棒直徑: 4英寸

晶棒長(zhǎng)度: 最長(zhǎng)300 毫米

裝料容量: 高達(dá)5公斤

熱場(chǎng): 10英寸

該晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)作為半導(dǎo)體行業(yè)的重要組成部分具有以下特點(diǎn):

精確性:通過(guò)精密儀器制造的驅(qū)動(dòng)單元夠?qū)崿F(xiàn)可重復(fù)的工藝控制并生產(chǎn)出最佳品質(zhì)的晶體。

堅(jiān)固性:爐體部件由高質(zhì)量的不銹鋼制成,其內(nèi)表面經(jīng)過(guò)高精度拋光,以便達(dá)到耐用性和潔凈等級(jí)方面的最高要求。

安全性:高度的自動(dòng)化和額為增設(shè)的安全系統(tǒng)可以確保在先進(jìn)的生產(chǎn)環(huán)境中使用。

定制化:憑借多年的開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)、專(zhuān)業(yè)知識(shí)以及提供多種部件更換和組合方式,PVA晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)根據(jù)不同客戶(hù)的特定需求提供最佳解決方案。

支持與服務(wù):您可以通過(guò)直接聯(lián)系PVA晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)專(zhuān)家進(jìn)行點(diǎn)對(duì)點(diǎn)"的溝通,獲得系統(tǒng)的備件服務(wù)以及系統(tǒng)的調(diào)整和優(yōu)化服務(wù)。

偶然將籽晶意外浸入熔融錫中,無(wú)意間發(fā)現(xiàn)了目前微電子領(lǐng)域中最重要的晶體生長(zhǎng)工藝,該工藝是實(shí)現(xiàn)工業(yè)、科學(xué)和社會(huì)的快速數(shù)字化轉(zhuǎn)型的基礎(chǔ)。柴可拉斯基法(直拉法)以揚(yáng)·柴可拉斯基的名字來(lái)命名,該技術(shù)為工業(yè)化生產(chǎn)而開(kāi)發(fā),目前用于生產(chǎn)直徑達(dá)300毫米、重量為500公斤的硅晶體。為此,當(dāng)溫度達(dá)到大約1410℃時(shí),高純硅作為半導(dǎo)體材料會(huì)在石英坩堝中熔化,并通過(guò)控制程序,按照工藝要求將單晶硅錠從熔體中拉出。



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